ابزار مشخصه یابی تغییرات سطح در اثر دما با مقیاس نانومتری ارائه شد - مجله فروشگاهی

به گزارش گروه فناوری خبرنگاران، سنسوفار (Sensofar)، یک شرکت فناور، متخصص در زمینه اندازه گیری سطح به صورت غیرتماسی است. این شرکت روش جدیدی برای مشخصه یابی تغییرات توپوگرافی سطح نمونه با درجه حرارت با استفاده از پروفایل نوری S neox 3 D و تداخل سنج Linnik همراه با محفظه کنترل دما LTS 420 Linkam ایجاد نموده است. از این روش برای نقشه برداری موفقیت تغییرات زبری و موج دار بودن ویفر های سیلیکونی در دمای حداکثر 380 درجه سانتیگراد استفاده شده است.

پروفیلومتری نوری یک روش اندازه گیری غیرمخرب، بدون تماس و سریع سطح است که برای مشخص مورفولوژی سطح، ارتفاع پله ها و زبری سطح مواد استفاده می گردد. از این فناوری در طیف گسترده ای از کاربرد ها در بسیاری از زمینه های تحقیقاتی شامل تجزیه و تحلیل بافت و پوشش ها، تجزیه و تحلیل ترک های ریز و خراش ها و ایجاد سایش برای مواد مختلف از جمله میکرو الکترونیک و مشخص مشخصات مواد در مقیاس نانومتری استفاده می گردد.

معمولا انجام آزمایش های پروفیلومتری نوری کنترل شده با دما به دلیل مسائل تصویربرداری ناشی از تغییر در انحراف کروی با دمای سخت است.

با استفاده از سیستم جدید عدسی تداخل سنج Linnik با پروفیلر نوری S neox 3 D و همچنین استفاده از محفظه کنترل دمای دقیق LTS 420، مسائل انحراف کروی حل شده و امکان اندازه گیری دقیق توپوگرافی سه بعدی مواد در مقیاس نانو در طیف گسترده ای از دما ها فراهم می گردد.

دیوید پائز، متخصص پشتیبانی فروش سنسوفار می گوید: در آزمایش اخیر با استفاده از این روش جدید، ما توانستیم تغییرات توپوگرافی ویفر های سیلیکونی را که با دمای 20 تا 380 درجه سانتیگراد ایجاد می شوند، مشاهده کنیم. این روش اطلاعات مهمی برای تولیدنمایندگان و کاربران ویفر سیلیکونی ارائه می دهد، به طوری که آن ها می توانند فرایند های خود را بهینه نمایند، ویژگی های نیمه هادی و دوام ویفر را بهبود بخشند. محفظه Linkam LTS 420 و کنترل نماینده دمای T 96 از اجزای اصلی این روش هستند و به ما امکان می دهند تا دما را بین 195- درجه و 420 درجه سانتیگراد با دقت 0.01 درجه سانتیگراد کنترل کنیم.

رابرت گورنی، متخصص برنامه های کاربردی Linkam می گوید: ما برای دهه ها امکان کنترل دقیق دما و شرایط محیط را برای طیف گسترده ای از روش ها، از میکروسکوپی تا تجزیه و تحلیل اشعه X ارائه داده ایم. این همکاری نقش مهم کنترل دما را در یاری به رویکرد های نوآورانه برای مشخص مشخصات مواد برجسته می نماید. ما بسیار خرسندیم که به لطف تداخل سنج Linnik می توانیم راه حلی مفید برای پروفیلومتری کنترل شده دما ارائه دهیم و ما مشتاقانه منتظریم ببینیم که چگونه این روش جدید به محققان در بسیاری از زمینه های علمی برای پیشرفت تحقیقات و دانش خود یاری می نماید.